Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA

28.01.2020 - 09:00 Uhr | Raum 8 - Session 8
Kondensierbare organisch-chemische Kontaminationen

  • Luftgetragene organisch-chemische Kontaminationen
  • Was sind sogenannte Condensables? - ACC(cd)
  • Wie gut ist mein Reinraum in Bezug auf ACC(cd)?
  • Kann diese durch Luftbeprobung ermittelt werden?
  • Neue Messmethode zur Bestimmung der Kondensation
Bei der Leistungsfähigkeit eines Reinraums geht es letztendlich um die Aufrechterhaltung einer definierten Oberflächensauberkeit, sei es partikulär oder chemisch.

Luftgetragene organisch-chemische Moleküle kontaminieren Produktoberflächen meist durch Kondensation. Dieser Effekt wird durch viele Parameter bestimmt, wie Temperatur, Dampfdrücke, chemische Eigenschaften der Oberfläche zum Molekül etc. Um das organisch-chemische Kontaminationsverhalten eines Reinraums hinsichtlich einer Produktoberfläche zu bestimmen, wurde die folgend dargestellte neue Methode etabliert. Grundlage sind handelsübliche Thermodesorptionsröhrchen, welche als Adsorbens einen Stift aus Edelstahl enthalten. Mit einer speziell abgestimmten Probenahme- und Handhabungseinheit wird der Pin zunächst an einer definierten Stelle der Reinraumluft exponiert. Anschließend wird dieser wieder in dem Röhrchen verpackt und mittels ATD-GC/MS qualitativ/quantitativ im sub-ng-Bereich analysiert. Die Methode eignet sich ebenfalls für das Monitoring der Produktsauberkeit als sogenanntes witness sample und wird aktuell im Rahmen einer VDI-Richtlinie standardisiert.



Kondensierbare organisch-chemische Kontaminationen
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA
Markus Keller